「X線ステレオ方式」３次元Ｘ線自動検査装置 FX-300tRX2
オプション機能でチップ数のカウントも可能となりました
X線装置にセットして約30秒程度で、テープ内のチップ数を勘定します
特徴
①コンパクトな小型Ｘ線装置でありながら、幾何学倍率１０００倍を達成
②アイビット独自の『X線ステレオ方式』で裏面情報キャンセル
③フラットパネルが６０°傾斜して観察可能、斜め観察でも倍率が下がらない
④斜めからの観察には観察位置を自動追従（カメラ傾斜してもポイントがずれない）
⑤各種測定機能付き
⑥オプションで検査機能追加可能
⑦ターゲット～試料０.５mm、ターゲット～Ｘ線カメラ５００mm：５００/０.５＝１０００、幾何学倍率１０００倍を達成
※「X線ステレオ方式」は、株式会社アイビットの登録商標です。
基本仕様
| 型式 | FX-300tRX2 |
|---|---|
| X線管種類 | マイクロフォーカス密閉型源（密閉型） |
| X線ターゲット位置 | 透過型ターゲット（開放管と同じ方式） |
| X線管電圧、管電流 | 30～90kV、0～60μA |
| X線管焦点径 | 5μｍ |
| ターゲット回転機構 | 500ｈ毎にターゲット回転、メッセージ出力 |
| 検査トレイサイズ | 330×250mm |
| X-Y軸ストローク | X軸：330mm，Y軸：250mm |
| Z1軸ストローク | Z1（X線カメラ上下）：150～500mm |
| Z2軸ストローク | Z2（X線管上下）：0～140mm |
| Q軸ストローク | Q軸（X線カメラ傾斜）：0～60° |
| 幾何学倍率 | 幾何学倍率：1000倍 X線源-サンプル距離= 0.5mmX X線現-受光部距離＝500mm、500/0.5=1000倍 |
| モニタ表示倍率 ※）他社密閉管の表示倍率と 同等に記述した場合 | モニタ表示倍率：6000倍 X線受光部センサ寸法=50×50mm 24インチモニタ表示エリア寸法= 300×300mm 画像表示寸法/X線受光部= 300 / 50 =6倍 幾何学倍率×表示拡大率= 1000×6= 6000倍 |
| X線画像分解能 | 130万画素、1180×1080pixel,14bit（16,384階調） |
| CCDｶﾒﾗ部種類 | カラーCCDカメラ（ワーク撮影用） |
| 表示ディスプレイ | 24インチLCD |
| エアー供給 | ー |
| 電源 | 単相AC200V,1.5KVA |
| 装置寸法 | 1.3（ｗ）×1.1(ｄ）×1.45（ｈ）ｍ |
| 装置重量 | 900kg |